产品中心

Product Center

N2 Purge

设备功能:用于Load Port,提供氮气吹扫功能,达到降湿除尘的目的

Heater

设备功能:用于控制EFEM中Particle(颗粒物)含量,还可以控制EFEM中的酸碱有机物及RH(相对湿度)

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